saojiba——在线,色呦呦在线视频在线观看,亚洲午夜精品a片久久www慈禧 ,成人十八禁在线观看视频

MEMS氣體傳感器的特點及分類

2022-06-02 13:05:14 精訊暢通

背景:

如今,氣體傳感器在各個領域的應用越來越廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等技術應用的推動下,其技術發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發(fā)展。

具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設的核心節(jié)點,MEMS技術為解決MOS氣體傳感器的該類問題提供了強有力的有效途逕和方案。MEMS技術的應用也為該類傳感器的集成化提供堅實的基礎。毫無疑問,基于MEMS氣體傳感器的設計方案將成為未來氣體傳感器的主要發(fā)展方向之一。

現(xiàn)在,儀器儀表中以單晶硅材料為襯底,非硅材料為敏感層的MEMS氣體傳感器最為常見。

現(xiàn)就市場常見MEMS氣體傳感器類型加以介紹:

MEMS電導型氣敏傳感器

這種氣敏傳感器的敏感材料是金屬氧化物半導體或?qū)щ娋酆衔铩.斶@些材料暴露于被測氣體中,氣體會與它們發(fā)生作用,引起電導率或電阻率的變化,產(chǎn)生包含氣體成分和濃度的電信號,經(jīng)過信號處理電路處理后,即可識別氣體的成分和濃度。

使用最多的金屬氧化物半導體是二氧化錫,其次是二氧化鈦、氧化鋅等。為提高氣敏傳感器靈敏度和選擇性,往往會向金屬氧化物中加入催化劑,如鉑、鈀等貴金屬或合適的金屬氧化物。

圖片關鍵詞

MEMS金屬氧化物半導體氣敏傳感器采用微電子技術的成膜工藝在硅襯底上淀積金屬氧化物敏感層,利用敏感層下的電阻做加熱器,利用二極管做測溫元件,必要的信號電路和讀出電路也可以集成在同一硅芯片上。

該MEMS氣體傳感器的特點在于將加熱電極、絕緣層和測試電極一層一層依次堆積疊加在一起。

MEMS固體電解質(zhì)氣敏傳感器

固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電極尺寸,因而輸出的電流和敏感性能也難于控制。由于MEMS技術制作的器件電機尺寸精度高,因而MEMS固體電解質(zhì)電流型氣敏傳感器性能優(yōu)異。

目前基于“三明治”結(jié)構(gòu)的傳感器,可以實現(xiàn)MEMS工藝的兼容與加工,解決了傳統(tǒng)固體電解質(zhì)式氣體傳感器工藝兼容性差、器件結(jié)構(gòu)復雜等問題。

MEMS氣體傳感器的優(yōu)勢在于:

(1)微型化:MEMS器件體積小,一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位,重量輕、耗能低。同時微型化以后的機械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應時間短等優(yōu)點。MEMS更高的表面體積比(表面積比體積)可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

(2)硅基加工工藝,可兼容傳統(tǒng) IC生產(chǎn)工藝:硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度類似鋁,熱傳導率接近鉬和鎢,同時可以很大程度上兼容硅基加工工藝。

(3)批量生產(chǎn):以單個5mm×5mm尺寸的MEMS傳感器為例,用硅微加工工藝在一片8英寸的硅片晶元上可同時切割出大約1000個MEMS芯片,批量生產(chǎn)可大大降低單個MEMS的生產(chǎn)成本。

(4)集成化:一般來說,單顆MEMS往往在封裝機械傳感器的同時,還會集成ASIC芯片,控制MEMS芯片以及轉(zhuǎn)換模擬量為數(shù)字量輸出。同時不同的封裝工藝可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體,或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列,甚至把多種功能的器件集成在一起,形成復雜的微系統(tǒng)。

(5)多學科交叉:MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科,并集約了當今科學技術發(fā)展的許多尖端成果。

最新91福利导航在线观看| 亚洲欧美日韩国产第七部| 秋霞电影av一区二区三区| 日韩中文字幕无码中文字| 在线观看日本不卡一区二区| 久久久久久久久久久久j| 精品久久久久久久国产视频| 性久久久久久| 国产精品乱码一区二三区| 男人干女人骚逼一区视频| 真实的国产乱xxxx在线| 爱福利视频广场一区二区| 精品成人a人无码亚洲成a无码| 大黑屄在线视频| 色窝窝影视一区二区三区| 老湿机午夜福利在线观看| 人妻鲁丝av一区二区三区| 8AV国产精品爽爽ⅤA在线观看| 亚洲 自拍 色综合图第一页区| 综合久久av一区二区三区| 五月婷婷六月丁香亚洲综合| 中文字幕有码综合色亚洲| 黑人猛干亚洲女久久不见网| 激情五月婷婷视频在线观看| 91偷自产一区二区蜜臀| 国产日韩精品中文字无码| 国产成人精品综合久久久久| 色YEYE在线视频观看| 精品亚洲一区中文字幕精品| 国产自愉自愉免费精品区| 99久久精品费精品蜜臀av| 亚洲国产色婷婷久久精品| 3dmax动漫 在线观看| 蜜臀av一区二区三区尤物| 色综合久久伊人| 亚洲精品美女久久7777777| 久久久久久久亚洲AV无码| 国内精品久久波多野结衣| 久久久一区二区三区毛片| 欧美特黄久久久久久大片| 99久久久亚洲精品毛片|